?? ? ?而硅粉直接氮化法制備氮化硅粉體要求氮?dú)鈮毫Ρ仨氉銐蚋?，以?shí)現(xiàn)硅與氮?dú)獾某浞纸佑|。一般燃燒合成的氮化硅粉的氮?dú)鈮毫Φ拖奘?MPa，但有時(shí)高達(dá)100MPa以上。采用高壓合成工藝不僅因設(shè)備投資高而且增加了生產(chǎn)成本，同時(shí)也組生產(chǎn)帶來(lái)了安全隱患。從國(guó)內(nèi)外氮化硅粉體的指標(biāo)測(cè)試和試燒結(jié)果看來(lái)，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的氮化硅粉平均顆粒在3微米左右，金屬雜質(zhì)含量較高，難以達(dá)到合格產(chǎn)品要求，而進(jìn)口的氮化硅粉為0.7微米以下。因此，為滿(mǎn)足市場(chǎng)需求，工業(yè)化生產(chǎn)超微，高質(zhì)量的氮化硅粉是國(guó)內(nèi)氮化硅行業(yè)發(fā)展中要解決的難題，刻不容緩。